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電子級羥基乙叉二膦酸(HEDP)

Electronic Grade 1-Hydroxy Ethylidene-1,1-Diphosphonic Acid (HEDP)

一、性能與用途

電子級HEDP為電子級高純產品,具有很強的金屬離子螯合能力,在半導體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝,可以提高研磨效率和光潔度,在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺,提高銅箔表面光潔度。

二、技術指標

項  目 指  標
外 觀 無色透明液體 晶體
活性(以HEDP計)/% ≥60.0 ≥90.0
單金屬離子/ppb <10ppb(可根據客戶需求定制)

三、包裝與貯存

電子級HEDP液體用電子級塑料桶包裝,每桶25kg或200kg,可根據客戶需求定制。貯存于室內陰涼通風處,貯存期十二個月。

四、安全與防護

電子級HEDP為酸性,操作時注意勞動防護,應避免與皮膚、眼睛等接觸,接觸后應立即用大量清水沖洗。

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